《电子工业纯水系统设计规范》由中华人民共和国住房和城乡建设部,中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局联合发布

1总则
2术语
3纯水制备工艺
3.1一般规定
3.2预处理
3.3脱盐及深度处理
3.4精处理
3.5特殊水质指标的技术措施
3.6水箱、水泵
4纯水输送和分配
4.1一般规定
4.2管道没计
5纯水回收和节水
5.1一般规定
5.2纯水回收
5.3节水措施
6纯水站房
6.1一般规定
6.2没备布置
6.3管道布置
6.4土建
6.5电气
6.6采暖通风
6.7给水摊水和消防
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