本标准适用于真空电子器件生产线工艺设计、设备安装及验收。

1总则
2术语
3基本规定
4生产线工艺设计
4.1工艺流程
4.2设备配置
4.3工艺布局
5配套设施要求
5.1表面处理工艺
5.2装配、焊接工艺
5.3排气工艺
5.4老炼及测试工艺
6设备安装
6.1安装条件
6.2设备开箱
6.3设备搬运
6.4设备安装
6.5二次配管配线
7设备调试与试运行
7.1一般规定
7.2清洗、镀覆设备调试与试运行
7.3装配、焊接和排气设备调试与试运行
7.4老炼设备调试与试运行
7.5测试设备调试与试运行
7.6自动化生产线联线调试与试运行
8工程验收
8.1一般规定
8.2交接验收
8.3竣工验收
8.4验收不合格的处置
附录A真空电子器件生产线设备安装工程施工工艺条件
附录B真空电子器件生产线设备安装工程质量验收记录用表
本标准用词说明
引用标准名录
附：条文说明