根据《集成电路工程技术人员国家职业标准》，集成电路工程技术人员职业等级划分为：集成电路初级工程师、集成电路中级工程师、集成电路高级工程师三个专业等级。《教程》据此分为3个层级，即：《集成电路初级工程师培训教程》《集成电路中级工程师培训教程》和《集成电路高级工程师培训教程》。根据《集成电路工程技术人员国家职业标准》，集成电路工程技术人员职业等级划分为：集成电路初级工程师、集成电路中级工程师、集成电路高级工程师三个专业等级。《教程》据此分为3个层级，即：《集成电路初级工程师培训教程》《集成电路中级工程师培训教程》和《集成电路高级工程师培训教程》。

第一章集成电路工艺概论
第一节摩尔定律
第二节后摩尔时代
第三节技术路线图
第四节工艺段落的划分
第二章光刻工艺
第一节光刻工艺流程和主要技术点
第二节光掩模版
第三节光刻机
第四节计算光刻技术
第五节工艺波动检测
第三章刻蚀工艺
第一节干法刻蚀
第二节湿法刻蚀
第三节工艺波动检测
第四章薄膜沉积工艺
第一节物理气相沉积工艺
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