本文件规定了电子工业用氟氨混合气的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟，与氨气混合配制而成的电子工业用氟氮混合气。
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