全书共分8章，主要内容有：真空材料的表面净化处理、真空材料的除气、真空系统的检测技术、真空系统内残余气体的分析与测量、真空系统的操作与维护、真空工程用焊接技术、真空工程封接技术、真空器件的电击穿及预防措施。
本书集基础理论和实践应用技术于一体，理论与工程实践有机结合，适合于真空技术、薄膜与表面工程、材料工程、低温工程、应用物理、机械设计等行业从事研究、设计、设备操作与维护的技术人员，也适用于进行与真空技术相关的科学研究及实验的技术人员和学生，还可作为大专院校相关专业师生的教材及参考书。

1 真空材料的表面净化处理
1.1 材料表面的污染与净化
1.1.1 材料表面常见的污染形式
1.1.2 材料表面净化
1.2 表面净化处理的基本方法
1.2.1 溶剂清洗
1.2.2 电化学清洗处理
1.2.3 加热和辐照清洗
1.2.4 气体加热还原分解净化表面
1.2.5 放电清洗
1.2.6 剥去覆盖涂层清洗
1.2.7 气体冲洗
1.3 清洗的基本程序
1.3.1 污染物的确定
1.3.2 清洗方法的确定
1.3.3 清洗溶剂的选择
1.3.4 清洗程序及注意事项
1.4 非金属材料的清洗
1.4.1 玻璃陶瓷的清洗
1.4.2 塑料与橡胶的清洗
1.5 清洁零件的存放
2 真空材料的除气
2.1 气体的吸附与脱附
2.1.1 吸附
2.1.2 脱附
2.2 材料除气的基本方法
2.2.1 加热烘烤除气
2.2.2 电子束轰击除气
2.2.3 离子轰击除气
2.3 玻璃及陶瓷材料的除气
2.3.1 玻璃材料的除气
2.3.2 陶瓷材料的除气
2.4 金属材料的除气
2.4.1 表面吸附气体的除气
2.4.2 表面化学反应产生的气体去除
2.4.3 金属件除气的一般方法及工艺参数
2.5 电真空器件的除气
2.5.1 器件外壳的除气
2.5.2 器件内部电极的除气
2.6 超高真空系统的烘烤除气
2.6.1 除气加热方法
2.6.2 烘烤温度与时间的选择
2.6.3 循环使用的超高真空系统的除气
2.6.4 高能粒子轰击除气
2.7 烘烤除气装置
3 真空系统的检测技术
3.1 真空测量仪表与规管的选用和安装
3.1.1 真空仪表的选用
3.1.2 真实规管的安装
……
4 真空系统内残余气体的分析与测量
5 真空系统的操作与维护
6 真空工程焊接技术
7 真空工程封接技术
8 真空器件的电击穿及预防措施
参考文献