本书是一本针对蒙特卡罗模拟电子与材料相互作用过程的专著，主要内容包括了电子在固体中输运过程的散射截面和散射机制，以及蒙特卡罗模拟时所需的最小值计算及随机数产生，并且介绍了连续慢化近似和能量歧离两种蒙特卡罗模拟策略，针对实例给出了背散射系数、二次电子发射系数和二次电子能谱的模拟及与实验结果的比较，最后还讨论了蒙特卡罗方法的一些重要应用。
本书内容既适合于具有一定物理电子学基础，并希望了解电子与材料相互作用模拟过程的初级入门者，又适合于研究电子与材料相互作用的相关研究者参考使用。
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