本书涵盖了电子显微镜分析的各个实验内容，包括扫描电子显微镜（能谱和电子背散射衍射附件）、电子探针、聚焦离子束、透射电子显微镜（原位表征方法）等内容。全书共5章、22个实验，着重描述了各个设备的原理、应用案例和实验操作过程等。第1章介绍扫描电子显微镜和电子探针的结构、原理及操作；第2章介绍扫描电子显微镜附属设备结构、原理及操作；第3章介绍聚焦离子束系统结构、工作原理及应用操作；第4章介绍透射电子显微镜结构、原理及基本应用操作；第5章介绍透射电子显微镜附属设备结构、原理及操作。本书可作为高等院校相关专业的电子显微分析课程的实验指导书，也可供科研部门及生产单位从事分析检测方面工作的技术人员参考使用，亦可为材料、化工、能源等领域的微观结构分析测试表征技术提供参考。

第1章扫描电子显微镜和电子探针的结构、原理及操作
实验一扫描电子显微镜的基本结构与工作原理介绍
实验二二次电子衬度原理与形貌分析
实验三背散射电子分析与衬度原理
实验四扫描电子显微镜断口分析
实验五电子探针基本结构、工作原理及操作
第2章扫描电子显微镜附属设备结构、原理及操作
实验一能谱仪的基本结构、工作原理及操作
实验二电子背散射衍射仪的基本结构与工作原理
实验三电子背散射衍射数据采取操作
实验四电子背散射衍射数据分析处理
第3章聚焦离子束系统结构、工作原理及应用操作
实验一聚焦离子束的基本结构与工作原理
实验二聚焦离子束与材料的作用及离子束加工基本功能原理
实验三具体功能操作——以聚焦离子束透射样品的制备操作为例
第4章透射电子显微镜结构、原理及基本应用操作
实验一透射电子显微镜样品的常用制备方法
实验二透射电子显微镜的基本结构及工作原理
实验三透射电子显微镜明场成像与暗场成像操作与解析
实验四透射电子显微镜选区电子衍射操作与应用
实验五透射电子显微镜衍射斑点标定与分析
实验六高分辨透射电子显微术的操作及标定
第5章透射电子显微镜附属设备结构、原理及操作
实验一透射电子显微镜能谱仪的结构、原理与分析操作
实验二电子能量损失谱结构、原理与分析操作
实验三扫描透射电子显微术的基本原理及操作
实验四透射电子显微镜的原位分析操作步骤
参考文献