本书由北京市自然科学基金委员会、北京工业大学“211工程”资助出版。此课题为863计划MEMS重大专项资助课题。它以作者近年来讲授MEMS课程的体会，以及作者编著的《MEMS技术及其应用》一书为基础，融合了其他作者的研究成果编著而成，其特点是以MEMS技术为基础，增加了生物芯片和纳米技术的内容，基本涵盖了微纳米技术的主要内容。

本书在概述了微机电系统技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详尽的介绍。书中分别介绍了MEMS应用，数种典型的物理传感器和化学传感器的工作原理及制造工艺；对各类微操作器／微执行器、微机械零件、微泵及微机电系统也做了比较详细的论述，之后介绍了与生物芯片相关的技术及纳米技术。

本书可供微电子、机电一体化、精密仪器及仪表等专业研究与技术人员参考，也可作为相关专业高年级与研究生的教学参考书。

总序

前言

第一章 绪论 1

1．1 MEMS的定义 2

1．2 国内外研究概况及展望 3

1．2．1 微型仪器 6

1．2．2 MEMS在医疗和生物技术领域的应用 8

1．2．3 MEMS在汽车工业的应用 9

1．2．4 MEMS军事应用展望 10

1．3 纳米技术及展望 14

1．3．1 纳米材料 14

1．3．2 纳米电子技术 15

1．3．3 纳米机器人 16

1．3．4 纳米卫星 16

1．3．5 纳米武器的应用展望 17

第二章 MEMS基础理论 19

2．1 尺寸效应 19

2．2 微机械常用材料 21

2．3 微构造的机械特性 22

2．4 微构造的振动特性 25

2．5 微构造的热特性 25

2．6 摩擦磨耗的减少办法 26

2．7 微流路中液体的流动 28

2．8 微机械的驱动原理 29

2．9 超小型机械实现的障碍及对策 30

第三章 微机械制造技术 31

……

第四章 MEMS CAD辅助分析和设计 103

……

第五章 微传感器 122

……

第六章 微操作器 152

……

第七章 微泵 166

……

第八章 微机电系统 177

……

第九章 生物芯片 204

……

第十章 纳米技术 244

……

参考文献 284