李志坚院士是我国微电子学的重要奠基人之一，自1958年从苏联留学归国后，50余年来一直工作和奋斗在微电子学领域，他的人生历程，与中国微电子学科的发展进程以及清华大学微电子学研究所的创建和发展息息相关。

本文集收录了李志坚院士(及其合作者)从上世纪60年代到2007年间不同时期发表的部分重要论文，共236篇，以年代为主线，同时按照主题进行了适当的归类，内容涵盖微电子技术发展战略展望、半导体器件物理、集成电路技术、系统集成技术等多方面。

本文集共三册，其中收集和整理了李志坚院士自上个世纪60年代到2007年间，不同时期发表的部分重要论文，其内容涉及微电子技术发展战略展望、半导体器件物理、集成电路技术、系统集成技术等方面。在50余年的科研与教学生涯中，李志坚院士长期坚持在第一线从事科学研究工作，并以其特有的睿智和对新技术的敏锐把握，与其合作者发表了大量的学术论文，对微电子科学与技术的发展作出了重要的贡献。

本书可以作为高等学校信息技术及微电子专业师生的参考书，也可供相关研究领域的科研技术人员学习参考。

序一

序二

编者的话

上

战略展望

器件物理

集成电路技术

系统集成技术

中

战略展望

器件物理

集成电路技术

系统集成技术

其他

下

战略展望

器件物理

集成电路技术

系统集成技术