微机电系统技术和微细加工技术发展迅速，其内涵广阔，涉及到多学科知识，对许多领域的影响都很大，已经成为一门新兴的交叉的学科知识体系。不仅微电子行业的技术人员必须掌握微机电系统技术和微细加工技术的有关知识，而且机械工程等其他专业领域的技术人员也需要了解和掌握其基本原理和应用。

本书即对微机电系统和微细加工技术的发展趋势，微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。

本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，包括微机电系统和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。

本书可作为机械工程类或其他工程类本科生、研究生课程的教材，也可以作为其他有关技术人员了解微机电系统与微制造技术的参考书籍。

1 绪论

 1.1 微机电系统与微型化

 1.2 微型化的基础——微细制造

2 微机电系统组成原理及设计

 2.1 微机电系统的组成和工作原理

 2.2 微尺度理论基础

 2.3 计算机辅助设计

 习题

3 微细加工技术

 3.1 硅微细加工

 3.2 LJGA技术

 3.3 微细电火花加工

 3.4 微细电铸

 3.5 微细电解加工

 3.6 微细高能束流加工

 习题

4 微机电系统的检测

 4.1 MEMS器件的几何量测量

 4.2 力学性能测试

 习题

5 微机电系统的应用

 5.1 微机电系统的军事应用

 5.2 微机电系统在民用工业中的应用

 习题

参考文献