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书名 | 基于机械-化学方法的微纳制造技术 |
分类 | 科学技术-工业科技-电子通讯 |
作者 | 史立秋 |
出版社 | 电子工业出版社 |
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介绍 |
内容推荐 本书共6章, 叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析, 并对后期的应用进行系统的研究。 |
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