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书名 可重入生产系统的多尺度建模与控制策略研究/清华汇智文库
分类
作者 何凤兰//董明
出版社 清华大学出版社
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介绍
内容推荐
本书围绕这一核心目标, 针对半导体芯片制造系统进行建模, 同时解决不同时间尺度上的优化控制问题, 提出一套多时间尺度上的建模与优化控制策略。
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