为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术优选、保护环境、节约能源、经济合理，制定《GB 50646-2020特种气体系统工程技术标准》。
本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。
本标准不适用于特种气体的制取、提纯、灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收。
特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本标准的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

1总则
2术语
3特种气体站房
3.1一般规定
3.2特种气体站房布置
3.3特种气体设备布置
4特种气体工艺系统
4.1一般规定
4.2特种气体输送系统
4.3吹扫和排气系统
4.4硅烷工艺系统
5生命安全系统
5.1特种气体管理系统
5.2特种气体探测系统
5.3其他安全设施
5.4特种气体报警的联动控制
6特种气体管道输送系统
6.1一般规定
6.2材料选型
6.3管道设计
6.4管道标识
7建筑结构
7.1一般规定
7.2建筑防火
7.3建筑构造措施
8电气与防雷
8.1配电与照明
8.2防雷与接地
9公用工程
9.1给水排水
9.2消防
9.3采暖通风与空气调节
10特种气体系统工程施工
10.1一般规定
10.2主要设备、材料进场验收
10.3气瓶柜与气瓶架的安装
10.4阀门箱与阀门盘的安装
10.5尾气处理装置及纯化器的安装
10.6特种气体管道安装
10.7特种气体管道改扩建工程施工
11特种气体系统工程验收
11.1一般规定
11.2设备验收
11.3管路与系统验收
11.4气体探测（监控）系统验收
附录A特种气体管道氦检漏方法
附录B电子工业用特种气体的主要物化性质（单一气体）
本标准用词说明
引用标准名录
附：条文说明